设备型号:电子枪及相关附件

用途

使用于真空光学镀膜机可镀制增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、常通膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系，能够实现0-99层膜的膜系。

优点

1、能量分布均匀，束斑小，垂直入射，电子枪不挖坑，基本上平面整体蒸发，光斑直￠5-￠25可调，扫描方式方形、圆环、圆面可设，并可记忆16位坩埚扫描频率、幅度大小、扫描方式及斑点位置。对操作者依耐性减少，使产品的重复性得到比较大的改善。

2、各单元为分体式方便维修和检查。

主要性能及技术指标

电子枪功率:6kw-15kw

阴极加热电源:AC3V+3V60V可调

电子束偏角:270°

启动真空:6.7x10^-3Pa

阳极电压:8KV-10KV