卧式真空镀膜机
产品介绍
设备型号:卧式真空镀膜机 |
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腔体尺寸:φ1100xH400mm |
恢复真空:4x10-3Pa,小于12分钟 |
工件盘:φ950 |
加热温度:最高350°C |
晶控:SQC310单探头 |
所需电力:三相、380V、50HZ |
电子枪:单枪 |
设备进水压:0.2~0.4MPa |
真空系统:扩散泵+双级旋片泵+罗茨泵 |
所需气压:0.6~0.8MPa |
极限真空:3x10-4Pa |
设备重量:2T |
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