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卧式真空镀膜机

卧式真空镀膜机

卧式真空镀膜机

产品咨询电话:400-6667-357
卧式真空镀膜机
产品介绍

设备型号:卧式真空镀膜机

腔体尺寸:φ1100xH400mm

恢复真空:4x10-3Pa,小于12分钟

工件盘:φ950

加热温度:最高350°C

晶控:SQC310单探头

所需电力:三相、380V50HZ

电子枪:单枪

设备进水压:0.2~0.4MPa

真空系统:扩散泵+双级旋片泵+罗茨泵

所需气压:0.6~0.8MPa

极限真空:3x10-4Pa

设备重量:2T

 

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