RL-560全自动熔料机
RL-560全自动熔料机
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RL-560全自动熔料机
产品介绍
设备简介:
RL系列全自动熔料机作为高精密光学镀膜机的配套辅助设备,可极大提升镀膜机的生产效率。 其总体结构和各系统功能单元很好的满足了自动熔料的要求。
设备特点:
· 一键式全自动熔料
· 能耗低操作简单
· 坩埚数量多
· 一体式结构,占地面积小
· 整体熔料效率高
RL-560设备主要规格参数:
真空腔室尺寸 | SUS304 φ560mmx400mm(H) |
烘烤系统 | 卤素灯烘烤 |
蒸发源 | E型电子枪1套+24穴 |
真空排气 | 机械泵+分子泵 |
操作系统 | 触摸屏+欧姆龙PLC |
基本性能:
极限真空 | 3x10-4Pa |
排气时间 | 大气-4.0x10-3Pa/15min/常温空载 |
基板温度 | 最高150℃ |
工作条件:
空间要求 | 约1.8m(宽)x2.3m(深)x2.2m(高) |
电源要求 | 3相5线380v50Hz、约20kw |
冷却水要求 | 20L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
压缩空气 | 0.4-0.6MPa |
设备重量 | 约1500kg |
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