电子枪扫描控制仪
产品介绍
设备型号:电子枪扫描控制仪 |
产品简介 |
本扫描仪巧妙的结合了模拟及数字电路,并具有RS232(或RS485)通讯接口,使之能与计算机实现通讯,对镀膜设备实现自动控制起到了不可缺少的作用。该控制仪的手操器是目前国内具有先进技术的智能手操器,它通过串行总线I2C与主机相连接,运行可靠、安全。操作更加人性化,使得前一-代仪器不可能达到的操作变为现实。该控制仪在人工控制模式下可以实现对束斑位置及大小的记忆,并可对应选择实现存储不同波形及不同频率。人性化设计的手操器按键使得操空扫描仪器变得轻松自如。 |
电子扫描仪的优点 |
◆扫描形状可选(方形、圆环、圆面) ◆重复性性能优异 ◆16位坩埚扫描频率、幅度等记忆功能 ◆手操器和扫描面板均可显示坩埚当前位置 ◆减小对操作者的依赖 |
主要性能及技术指标 |
输出频率:0.1-250HZ可设置,(1HZ以内长0.1HZ,1HZ以上长1HZ). |
X上限报警电流:0-2.5A可设置,Y下限报警电流:0-2.5A可设置 |
X直流偏移:0-2A可调,Y直流偏移:0-±1.5A可调 |
X波幅电流:0-±1.5A可调,Y波幅电流:0-±1.5A可调 |
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