设备型号:卧式连续生产线

设备简介

该生产线应用了纳米材料薄膜技术、真空磁控溅射技术、新智能自动化控制总线等技术，使用了新型的平面磁控阴极。同一般镀膜生产线相比，融汇了更多高新技术，有效克服了以往许多生产线的不足，显著提高了设备的稳定性和性价比，使设备更合理更人性化。镀膜腔室采用单元式结构,可根据不同工艺需求，可灵活调整阴极和和泵组位;灵活的阴极挡板结构，节约了更换靶材及清理工序的周期;高质量国产化品牌元器件的使用不仅降低了设备制造成本和使用成本，也减少了设备故障恢复时间和成本，降低了客户对该设备的使用成本和技术要求。

设备特点

1、整条生产线为卧式水平输送结构，生产方式为连续-次性生产。

2、真空箱体的模块化设计和加工，提高了部件的互换性。

3、配置了性能优良的阴极和电源，提高了阴极工作的稳定性和生产效率。

4、配置了独立控制的工艺气体，采用二进制的5段送气，提高了工艺气体的均匀性，提高了膜层横向的均匀性。

5、采用先进的分子泵抽气系统，杜绝真空室油污染，运行高效可靠。

6、采用了抽气腔和阴极腔隔离结构，分子泵、阴极独立布置，气体隔离效果好。