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第五十二章 硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究

本期分享了硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究,通过工艺优化,解决了DLC保护膜耐磨性及应力适配的问题,制备的减反保护膜能够满足使用要求。
03 2023/10

第五十一章 硫系玻璃元件镀膜基础知识

本期主要分享了硫系玻璃元件的应用背景、硫系玻璃的特性及硫系玻璃元件增透与保护膜研究现状,分析了硫系玻璃元件镀膜的技术难点
31 2023/08

第五十章 ALD制备草状氧化铝薄膜的特性及应用

本期主要分享了ALD技术制备草状Al2O3膜层的特性以及在太阳能增强薄膜方面的应用。
17 2023/08

第四十九章 ALD制备TiO2薄膜技术

ALD技术将原子气相分子以逐层方式沉积在基板表面来制备纳米尺度的薄膜,通过将两种或几种膜料分子逐层沉积,可以获得不同于单独薄膜的特殊性质。
25 2023/07

第四十八章 ALD制备TiO2薄膜技术

本期介绍了 ALD技术制备TiO2薄膜工艺与耐UV辐射测试,重点介绍沉积温度,退火温度及沉积方法对TiO2薄膜特性的影响,并对TiO2薄膜的抗UV辐射做了测试。
01 2023/07

第四十七章 ALD制备Al2O3薄膜技术

本期应读者要求,分享ALD沉积Al2O3薄膜案例,重点介绍了 ALD技术制备Al2O3薄膜工艺与耐腐蚀测试,重点介绍TMA脉冲时间对Al2O3薄膜沉积速率的影响、沉积温度对Al2O3薄膜速率及折射率的影响、不同循环次数对Al2O3膜层n、k值的影响及ALD制备Al2O3薄膜的测试结果。
16 2023/06
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