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第二十八章 单波长光学膜厚监控原理简介

对光控原理进行了简述,给出了行之有效的计算公式。对目前镀膜设备中普遍应用的比例法进行了讲述,并用比例法对光控的补偿效应进行了示例。
22 2022/06

第二十七章 等效层概念的延伸理论及应用

基于等效层概念,对非对称膜堆的等效膜层计算方法进行了讲述。对称膜堆可以等效成一个单层的等效膜层。非对称膜堆可以等效成两层的等效膜层。两层的等效膜层通过对称拆分,进而得到新的三层对称膜堆;最终得到一个新的单层等效层
22 2022/06

第二十六章 等效层的概念及应用

本文对对等效层概念的定义及应用进行了简述。
06 2022/06

第二十五章 挡板新解

本文以电子束蒸发镀膜机的电子枪挡板和离子源挡板为例,对挡板的作用进行阐述。众所周知,电子枪挡板存在的主要作用是,防止预熔时膜料分子挥发或飞升到基板表面。大部分膜料必须经过预熔才能开始蒸发沉积。在预熔时,电流通常会大于或接近稳定蒸发的电流,此时膜料处于不稳定的可蒸发状态。如果没有挡板遮挡,此时的膜料分子甚至杂质就会飞升到基板表面,从而影响膜厚分布和薄膜表面质量。
06 2022/06

第二十四章 晶振片使用技巧

成都国泰真空设备有限公司工艺讲堂,本文介绍了什么是材料参数里的密度和Z因子、晶振片类型选择及膜层中切换使用技巧、晶振控制延时控制意义及设定。
10 2022/05

第二十三章 晶振膜厚的数学理论计算与误差

晶振控制膜厚主要是利用了石英晶体的两个效应:压电效应和质量负荷效应.通过测定其固有谐振频率或与固有谐振频率有关的参量变化来监控沉积薄膜的厚度
18 2022/04
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