DLC碳膜机
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DLC碳膜机
产品介绍
设备简介:
DLC碳膜机主要应用于红外透镜,实现加硬的效果。
特点:
· 摩擦系数低、基材附着力、耐磨及耐腐蚀性好
· 通过ACS全自动镀膜控制系统实现全自动镀膜过程
· 排气系统为机械泵+分子泵
典型应用及光谱:
▲单层增透工艺曲线图
DLC-700设备主要规格参数:
真空腔室尺寸 | SUS304 φ700mmx500mm(H) |
有效区域 | φ350mm |
工件旋转 | 1-15r/min |
烘烤系统 | 铠装加热/卤素灯加热 |
真空排气 | 机械泵+分子泵 |
操作系统 | 触摸屏+工控机+ACS系统+欧姆龙PLC |
基本性能:
极限真空 | 7x10-5Pa |
排气时间 | 大气-2.0x10-3Pa/20min/常温空载 |
基板温度 | 最高150℃ |
工作条件:
空间要求 | 约1.8m(宽)x1.6m(深)x1.8m(高) |
电源要求 | 3相4线380v50Hz、约15kw |
冷却水要求 | 40L/min、0.3-0.4MPa、25℃ |
压缩空气 | 0.5-0.7MPa |
设备重量 | 约700kg |
上一个
卷绕真空镀膜机
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