磁控溅射真空镀膜设备
产品介绍
设备型号:磁控溅射真空镀膜设备 |
产品介绍 |
磁控溅射镀膜机应用于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。 该系列设备主要是使用直流(或中频)磁控溅射,可适应广泛镀膜靶材,如:铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料, 可以利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。 |
设备主要参数 |
真空室尺寸:1200,1400,1600,1800 |
真空系统:旋片泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选分子泵、深冷泵、深冷系统) |
极限真空:6x10-4Pa |
抽气时间:空载大气抽至5x10-3Pa,>13min |

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