• 分类：工艺讲堂
• 作者：工艺部
• 来源：国泰真空
• 发布时间：2021-11-09
• 访问量：198

【概要描述】对于确定的薄膜设计，合理利用薄膜的热力学特性和微观结构，是改善薄膜应力特性的重要手段。从残余应力的角度分析解决薄膜牢固度裂膜的问题，主要从三方面考虑，1.层状生长的致密结构，有利于提升牢固度。2.柱状开孔结构，会降低薄膜的机械强度。3.选择热学特性接近基板的材料镀膜，有利于控制张应力。