第十章 一种手机摄像头用超宽带红外增透膜
- 分类:工艺讲堂
- 作者:工艺部
- 来源:国泰真空
- 发布时间:2021-11-09
- 访问量:437
【概要描述】对现在市场上常用红外滤光片的透过带宽进行了拓展,使类似的产品使用范围得到了扩大。填补了相关滤光片在手机领域使用空白。
中远红外波段,基板和膜料多多少少都有一些吸收,因此选材至关重要。本工艺中使用的基板是硅,膜料组合是Ge/ZnS/YbF3。
依据Ge/ZnS/YbF3组合的特性,给出了沉积温度和镀膜蒸发工艺。
第十章 一种手机摄像头用超宽带红外增透膜
【概要描述】对现在市场上常用红外滤光片的透过带宽进行了拓展,使类似的产品使用范围得到了扩大。填补了相关滤光片在手机领域使用空白。
中远红外波段,基板和膜料多多少少都有一些吸收,因此选材至关重要。本工艺中使用的基板是硅,膜料组合是Ge/ZnS/YbF3。
依据Ge/ZnS/YbF3组合的特性,给出了沉积温度和镀膜蒸发工艺。
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