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第五十三章 模压硫系玻璃元件3.7~4.8μm增透膜的研制

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺部研发中心
  • 来源:成都国泰真空设备有限公司
  • 发布时间:2023-11-03
  • 访问量:1000

【概要描述】硫系玻璃基底3.7~4.8μm增透膜的研究,通过工艺优化,热应力仿真等解决了硫系玻璃元件增透膜脱膜的问题,制备的增透膜能够满足使用要求。

第五十三章 模压硫系玻璃元件3.7~4.8μm增透膜的研制

【概要描述】硫系玻璃基底3.7~4.8μm增透膜的研究,通过工艺优化,热应力仿真等解决了硫系玻璃元件增透膜脱膜的问题,制备的增透膜能够满足使用要求。

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺部研发中心
  • 来源:成都国泰真空设备有限公司
  • 发布时间:2023-11-03
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本期主要分享团队在硫系玻璃(IRG206)基底表面成功制备3.7~4.8μm增透膜的案例,以供大家参考。

1、材料选择及膜系结构设计

2、薄膜的制备

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