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第五十二章 硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺研发中心
  • 来源:成都国泰真空设备有限公司
  • 发布时间:2023-10-03
  • 访问量:888

【概要描述】本期分享了硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究,通过工艺优化,解决了DLC保护膜耐磨性及应力适配的问题,制备的减反保护膜能够满足使用要求。

第五十二章 硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究

【概要描述】本期分享了硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究,通过工艺优化,解决了DLC保护膜耐磨性及应力适配的问题,制备的减反保护膜能够满足使用要求。

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺研发中心
  • 来源:成都国泰真空设备有限公司
  • 发布时间:2023-10-03
  • 访问量:888
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      本期主要分享团队在硫系玻璃(IRG206)基底表面成功制备8~12μm减反保护膜的案例,以供大家参考。

1、材料选择及膜系结构设计

2、薄膜的制备

3、结果与分析

4、总结

关键词:

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