第五十二章 硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究
- 分类:工艺讲堂
- 作者:工艺研发中心
- 来源:成都国泰真空设备有限公司
- 发布时间:2023-10-03
- 访问量:888
【概要描述】本期分享了硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究,通过工艺优化,解决了DLC保护膜耐磨性及应力适配的问题,制备的减反保护膜能够满足使用要求。
第五十二章 硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究
【概要描述】本期分享了硫系玻璃基底8~12μm减反保护膜的研究,通过工艺优化,解决了DLC保护膜耐磨性及应力适配的问题,制备的减反保护膜能够满足使用要求。
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本期主要分享团队在硫系玻璃(IRG206)基底表面成功制备8~12μm减反保护膜的案例,以供大家参考。
1、材料选择及膜系结构设计
2、薄膜的制备
3、结果与分析
4、总结
关键词:
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第五十一章 硫系玻璃元件镀膜基础知识
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