第五十六章 1.5~5μm宽波段增透膜的研制
- 分类：工艺讲堂
- 作者：工艺部研发中心
- 来源：成都国泰真空设备有限公司
- 发布时间：2023-12-22
- 访问量：1000
【概要描述】本期主要针对Si基底表面制备1.5~5μm宽带增透膜进行研究，选取三种薄膜材料设计了短中波红外宽带增透膜。制备的薄膜能够经过附着力实验，膜层牢固。
第五十六章 1.5~5μm宽波段增透膜的研制
【概要描述】本期主要针对Si基底表面制备1.5~5μm宽带增透膜进行研究，选取三种薄膜材料设计了短中波红外宽带增透膜。制备的薄膜能够经过附着力实验，膜层牢固。
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本期主要分享团队在硅（Si）基底制备1.5~5μm波段增透膜的实例，以供大家参考。
1、材料选择及膜系结构设计
2、薄膜的制备
3、结果与分析
4、总结
关键词：
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