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GT-1300光学真空镀膜机

GT-1300光学真空镀膜机

GT-1300光学真空镀膜机

产品咨询电话:400-6667-357
GT-1300光学真空镀膜机
产品描述

设备型号:GT-1300光学真空镀膜机

腔体尺寸:φ1320mmxH1500mm

恢复真空:1x10-3Pa,小于20分钟

工件盘:φ1200

加热温度:下烘烤300°C

晶控:XTC-3+六探头

所需电力:三相、380V50HZ

电子枪:单枪

设备进水压:0.3~0.4MPa

真空系统:罗茨泵+双级旋片泵+扩散泵

所需气压:0.5~0.7MPa

极限真空:7x10-5Pa

设备重量:6T

真空镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜工艺要求进行量身设计及制作

 

镀膜样片

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