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ZZS-2250光学真空镀膜机

ZZS-2250光学真空镀膜机

ZZS-2250光学真空镀膜机

产品咨询电话:400-6667-357
ZZS-2250光学真空镀膜机
产品描述

设备型号:ZZS-2250光学真空镀膜机

腔体尺寸:φ2250mmxH1700mm

恢复真空:3x10-3Pa,小于15分钟

工件夹具:14

加热温度:下烘烤12KW

晶控:SQC310六探头

所需电力:三相、380V50HZ

电子枪:双枪共蒸

设备进水压:0.2~0.4MPa

真空系统:扩散泵+双级旋片泵+罗茨泵

所需气压:0.6~0.8MPa

极限真空:4x10-4Pa

设备重量:8T

真空镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜工艺要求进行量身设计及制作

 
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