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第十九章 成膜充气是用压控还是固定流量控制?

  • 分类:工艺讲堂
  • 作者:工艺部 鲍刚华
  • 来源:国泰真空
  • 发布时间:2021-12-08
  • 访问量:326

【概要描述】很多做镀膜的同事,在成长的过程中,可能都曾有过疑问:
融药过程中会释放杂气,导致真空度变低。那么杂气的成分到底是什么?
氧化物镀膜时一般需要充氧气,但到底是选择恒压还是恒流?两种模式的优缺点分别是什么?
本篇从5个部分来回答以上问题:
(一)融药过程中释放的杂气到底是什么
(二)TiO2成膜过程充氧建议采用恒压加恒流混合模式
(三)SiO2成膜过程充氧建议采用恒流模式
(四)离子辅助镀膜时建议恒压加恒流混合模式
(五)小结

第十九章 成膜充气是用压控还是固定流量控制?

【概要描述】很多做镀膜的同事,在成长的过程中,可能都曾有过疑问:
融药过程中会释放杂气,导致真空度变低。那么杂气的成分到底是什么?
氧化物镀膜时一般需要充氧气,但到底是选择恒压还是恒流?两种模式的优缺点分别是什么?
本篇从5个部分来回答以上问题:
(一)融药过程中释放的杂气到底是什么
(二)TiO2成膜过程充氧建议采用恒压加恒流混合模式
(三)SiO2成膜过程充氧建议采用恒流模式
(四)离子辅助镀膜时建议恒压加恒流混合模式
(五)小结

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