• 分类：工艺讲堂
• 作者：国泰真空 工艺部
• 来源：成都国泰真空设备有限公司
• 发布时间：2021-11-12
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【概要描述】在光学薄膜的批量制备过程中，重要的控制技术是薄膜厚度控制。类如DWDM等高精度的光学薄膜，影响其制备成功率的核心技术之一就是膜厚误差控制技术。薄膜厚度误差不仅会改变薄膜的光学常数，而且会影响薄膜的光学特性，导致产品报废。因此，膜厚控制精度是评价设备性能的关键指标之一，从光学镀膜诞生起，如何精确控制成膜厚度就一直是长盛不衰的热点话题之一。