
第九章 薄膜应力计算方法简介
- 分类:工艺讲堂
- 作者:工艺部
- 来源:国泰真空
- 发布时间:2021-11-09
- 访问量:146
【概要描述】薄膜应力是日常镀膜中不可忽视的现象。按照表现形式可分为张应力和压应力,应力的表现形式与薄膜和基板的热力学特性息息相关。同一炉镀膜中的不同基板会表现出不同的应力特性。薄膜应力的测量方法有两种。最常用的是通过测量基板镀膜前后的面形变化来估算。测量基板面形变化的手段很多,目前常用的是波长为632.8nm的激光干涉仪。另外一种方法是微观测量法。采用X射线衍射仪、拉曼光谱仪等对薄膜的微观结构如晶格畸变量或Raman光谱移动和变形量进行测量和表征。
第九章 薄膜应力计算方法简介
【概要描述】薄膜应力是日常镀膜中不可忽视的现象。按照表现形式可分为张应力和压应力,应力的表现形式与薄膜和基板的热力学特性息息相关。同一炉镀膜中的不同基板会表现出不同的应力特性。薄膜应力的测量方法有两种。最常用的是通过测量基板镀膜前后的面形变化来估算。测量基板面形变化的手段很多,目前常用的是波长为632.8nm的激光干涉仪。另外一种方法是微观测量法。采用X射线衍射仪、拉曼光谱仪等对薄膜的微观结构如晶格畸变量或Raman光谱移动和变形量进行测量和表征。
- 分类:工艺讲堂
- 作者:工艺部
- 来源:国泰真空
- 发布时间:2021-11-09
- 访问量:146
详情
关键词:
扫二维码用手机看
推荐新闻
暂时没有内容信息显示

微信公众号
成都国泰真空设备有限公司
销售热线:400-6667-357
销售座机:028-82605890
售后电话:19940696393
International Sales:(限国外业务)
Mob: +86 136 8901 2997
Email: sales@guotaivac.com
版权所有:成都国泰真空设备有限公司 蜀ICP备2021006026号-1