• 分类：工艺讲堂
• 作者：工艺部
• 来源：国泰真空
• 发布时间：2021-11-09
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【概要描述】薄膜应力是日常镀膜中不可忽视的现象。按照表现形式可分为张应力和压应力，应力的表现形式与薄膜和基板的热力学特性息息相关。同一炉镀膜中的不同基板会表现出不同的应力特性。薄膜应力的测量方法有两种。最常用的是通过测量基板镀膜前后的面形变化来估算。测量基板面形变化的手段很多，目前常用的是波长为632.8nm的激光干涉仪。另外一种方法是微观测量法。采用X射线衍射仪、拉曼光谱仪等对薄膜的微观结构如晶格畸变量或Raman光谱移动和变形量进行测量和表征。