• 分类：工艺讲堂
• 作者：工艺部研发中心
• 来源：成都国泰真空设备有限公司
• 发布时间：2024-10-07
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【概要描述】本期主要针对光谱探测中的超宽带增透膜进行研究，通过对混合材料特性的研究，优化了SiO和MgF2的共蒸发速率，得到了与Si材料相匹配的折射率，同时降低了相应波段的吸收峰。采用先预镀10nm的 SiO材料，然后进行共蒸发可以实现对两种材料混合比例准确控制，同时调整充气量控制真空度稳定。制备的超宽带增透膜膜在1300nm~3400nm平均光谱透过率为96.7%，但是与理论设计相比仍然有所下降，如何进一步提高光谱透过率并减少在2600~2900nm波段的吸收是下一步研究的重点。