• 分类：工艺讲堂
• 作者：工艺研发中心
• 来源：成都国泰真空设备有限公司
• 发布时间：2024-09-02
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【概要描述】本期主要针对红外探测器滤光膜进行研究，采用电子束蒸发和离子辅助沉积技术，通过对ZnS和YbF3光学特性的研究，以及对工艺参数如烘烤温度、离子源、膜厚控制等参数的优化，解决了蓝宝石基底上膜层牢固性及1.6~1.7μm之间的平均透过略高等问题。经测试薄膜能够承受恶劣工作环境的考验，基本满足了探测器的使用要求。