第四十一章 激光薄膜元件的后处理技术
- 分类:工艺讲堂
- 作者:工艺部研发中心
- 来源:成都国泰真空设备有限公司
- 发布时间:2023-03-14
- 访问量:888
【概要描述】激光薄膜元件的后处理技术是提高薄膜激光损伤阈值的重要手段,本期主要讲解常见的三种激光薄膜后处理技术。
第四十一章 激光薄膜元件的后处理技术
【概要描述】激光薄膜元件的后处理技术是提高薄膜激光损伤阈值的重要手段,本期主要讲解常见的三种激光薄膜后处理技术。
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激光薄膜元件的后处理技术是提高薄膜激光损伤阈值的重要手段,本期主要讲解常见的三种激光薄膜后处理技术。
1.激光预处理技术
2.退火处理技术
3.离子后处理技术
4.总结
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