第三十六章 原子层沉积(ALD)技术
- 分类:工艺讲堂
- 作者:工艺部研发中心
- 来源:成都国泰真空设备有限公司
- 发布时间:2022-12-05
- 访问量:520
【概要描述】近几年,ALD技术在大曲率和特殊形状的光学元件表面镀膜的优势越来越明显,本章内容跟大家科普一下ALD的工艺技术。
第三十六章 原子层沉积(ALD)技术
【概要描述】近几年,ALD技术在大曲率和特殊形状的光学元件表面镀膜的优势越来越明显,本章内容跟大家科普一下ALD的工艺技术。
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